국립공주대학교 공동실험실습관

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(공주캠)고분해능 주사전자현미경(HR FE- SEM)(High resolution field emission scanning microscope)

  • (공주캠)고분해능 주사전자현미경(HR FE- SEM) 사진

신청가능

물리화학분석장비

공주캠퍼스

분석연구원
최영아 / 041-850-8882
설치장소
산학연구관 104호
모델명
MIRA3-LMH
제조사
Tescan
제조국
체코
분석료
* 연구원과 일정 확인 후 예약하시기 바랍니다.
(1일 분석시간 : 9:30~5:00)
* 직접사용을 희망하는 의뢰자는 예약 시 반드시 직접 사용 여부를 말씀해주시기 바랍니다.
(연구원 분석 일정이 중복되어 다른 의뢰자에게 피해가 됩니다!!)


[교내] SEM : 45,000원/시간
          EDS : 45,000원/시간 + 10,000원/시료
          Pt/Au/C coating :  10,000원/회
         

[외부] SEM : 80,000원/시간
          EDS : 80,000원/시간 + 10,000원/시료
          Pt/Au/C coating :  10,000원/회
원리 및 특징
High resolution field emission scanning microscope
응용분야
재료형태, 크기 등 이미지 분석 , 성분 분석
규격
1) 분해능 : SEI     : 1.0nm at 30kV or better, 2.0nm at 3 kV or better
               BEI     : 2.0nm at 30kV or better
  2) 배율 : 4 x  1,000,000  or wider
  3)최소 배율 : about x4 without any image distortion in Wide Field optic mode
  4) 가속 전압 : 200V to 30kV
  5) 전자총 : High Brightness Schottky Emitter
  6) 프로브 전류 : 2 pA to 100nA or wider