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박막 두께측정기(Thin film thicknessmeter)
신청가능
물리화학분석장비
공주캠퍼스
- 분석연구원
- Phd.박상민 / 041-850-8861
- 설치장소
- 신관캠퍼스 공동실험실습관(산학연구관 115호)
- 모델명
- ST5030
- 제조사
- 케이맥
- 제조국
- 대한민국
분석료
ㅇ 교내: 10,000원/시료, 직접사용자에 한하여 5,000원/시료
ㅇ 교외: 13,000원/시료, 직접사용자에 한하여 7,000원/시료
ㅇ 교외: 13,000원/시료, 직접사용자에 한하여 7,000원/시료
원리 및 특징
박막에 경계면에서 반사와 투과가 일어나는데 이때 빛은 오실레이션이 일어나 간섭 패턴이 만들어진다. 이때 간섭패턴을 적절한 수학 모델로 추정하면 시료 막박의 두께 정보를 얻을 수 있다.
응용분야
반도체 표면 위의 박막두께 측정
유리 표면 위의 코팅 두께 측정
폴리머 두께 측정
얇은 유리의 두께 측정 등
유리 표면 위의 코팅 두께 측정
폴리머 두께 측정
얇은 유리의 두께 측정 등
규격
◦검출 spot 크기: 20um
◦측정 시료 크기: 300 × 300 mm(12“ wafer)
◦두께 측정 범위: 100Å ~ 50 μm
◦다층 두께 측정: 최대 7층
◦측정에 이용되는 가시광선: 400 ~ 800 nm
◦검출기: 선형배열 CCD 검출기 2048 pixels
◦측정 시료 크기: 300 × 300 mm(12“ wafer)
◦두께 측정 범위: 100Å ~ 50 μm
◦다층 두께 측정: 최대 7층
◦측정에 이용되는 가시광선: 400 ~ 800 nm
◦검출기: 선형배열 CCD 검출기 2048 pixels