* 연구원과 전화상담 후 예약하시기 바랍니다.
* 1일전까지 취소연락이 없는경우 분석한것으로 간주하고 청구하니 유의하시기 바랍니다.
내부
표면 : 45,000/point+5,000/2hr(기본시간) + 5,000/hr(기본시간 초과분)
Depth : 70,000/point+5,000/2hr(기본시간) + 5,000/hr(기본시간 초과분)
+ 5,000원/원소(기본원소3개 초과시)
외부
표면 : 70,000/point+5,000/2hr(기본시간) + 5,000/hr(기본시간 초과분)
Depth : 150,000/point+10,000/2hr(기본시간) + 10,000/hr(기본시간 초과분)
+ 10,000원/원소(기본원소3개 초과시)
자세한 문의는 공실관 행정실 041-850-8881, 010-8825-2376로 문의 바랍니다.

시료의 표면에 X-선 빔을 입사하여, 방출하는 광전자의 에너지를 측정함으로써 시료표면의 조성 및 화학적인 결합상태를 알 수 있다. 에너지원으로 X-선이 사용되어 절연체에 적용이 가능함으로 도체 및 반도체 절연박막의 분석에 큰 장점을 가지고 있다. 또한, 이온빔으로 표면을 식각하여 깊이에 따른 원자의 조성/ 결합 및 분포도를 측정할 수 있다.

금속 및 반도체 순수 표면의 상전이에 따른 전자 구조의 변화
•재배열 원자들의 전하분포 및 결합 에너지 변화
•기체 및 금속이 흡착된 반도체와 금속표면에서의 반응성 및 결합 상태에 따른 전자구조
•자성체 초박막 및 에피 박막의 전자에너지 분포
•Submicro 이하의 국소 영역의 성분 분석
•Depth profile을 통한 박막의 성장 메카니즘 규명
•표면의 원소에 대한 정량 분석 등

•모델명 : MultiLab. ESCA 2000
1) Normal X-ray Source: 사용불가
- 분석면적 : 100 ㎛ ～ 10 ㎜
- X-ray 에너지 : 0 ～ 3 kV
- X-ray 에너지 분해능(line width) : Mg Ka(0.7 eV), Al Ka(0.85 eV)
- Analyzer spatial resolution: 100 um
- Analyzer Energy resolution : <5 meV
2) Monochromator X-ray Source: 사용가능
- 분석면적 : 200, 250, 320, 400, 500, 650, 900 ㎛
- X-ray 에너지 : 15 kV or better
- X-ray 에너지 분해능(line width) : Al Ka(0.72 eV)