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분광타원해석기(SE) 기자재 정보
기자재명 분광타원해석기(SE) (Spectroscopic Ellipsometer)
사진 분광타원해석기(SE) 사진 분광타원해석기(SE) 사진 분광타원해석기(SE) 사진
모델명 UVISEL-NIR
분류 물리화학분석장비
제조국 프랑스
제조사 Horiba-Jobinyvon
캠퍼스 공주캠퍼스
설치장소 연구관117
상태 신청가능
분석료 교내 : 20,000원/시료
타교 : 25,000원/시료
일반 : 30,000원/시료
원리 및 특징 1. Spectroscopic Ellipsometry를 이용하여 박막 반도체 분야의 박막 시료 대한 정보를 필요로 하는 분야에서 단순 박막 및 Multi Layer의 두께, 굴절율, 습수율의 측정 분석이 가능한 시스템임.
2. 물질의 계면또는 표면으로부터의 반사 빛의 편광 변화를 측정하여 여러가지 물질의 특성을 파악한다.
특징
1. 비파괴적으로 시료를 분석함으로써 분석후 시료에 부반응 및 영향이 없다.
2. 고 정확 및 정밀도 (높은 재현성이 큰장점임)
3. 투명한 시료 및 반투명시료에 대해서만 분석이 가능
4. 비교 물질이 불필요
5. 특히 10nm이하의 초박막층에 높은 감도
6. 동시에 다층 박막두께를 측정
7. 관찰 파장의 데이터 측정
응용분야 1. 광학적특성 분석
  가. 수 ㎛부터 수 A˚까지의 박막두께를 측정할 수 있다.
  나. 단층 또는 다층의 박막두께를 측정이 가능하다.
2. 신소재 특성 분석
  가. 구성원소, 결정체 분석
  나. 미세구조
  다. 면적 및 깊이의 박막 균질성
3. 화학 및 생명공학 응용
  가. 폴리머
  나. 액체
  다. Langmuir Blodgett films
  라. Lipids, Protein adhesion
4. 반도체공학 응용
  가. 산화, 질화, 질산화 층분석
  나. Thin NO capacitors, ONO, OPO, ONOPO
  다. SOI, SIMOX
  라. Metals (Ti, TiN, TaN, MoSi, WSix, Al, Cu, Co....)
  마. Photoresists, ARC
  바. High k, Low k
규격 UVISEL-NIR

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