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물리화학분석장비

포토마스크정렬기(Aligner&Spin Coater) 기자재 정보
기자재명 포토마스크정렬기(Aligner&Spin Coater) (Photo Mask Aligner & Spin Coater)
모델명 MDA-400B
분류 물리화학분석장비
제조국 한국
제조사 마이다스시스템
캠퍼스 공주캠퍼스
설치장소 114
상태 사용불가
분석료 교내 :  3,000원/시료
교외 : 5,000원/시료
외부 : 10,000원/시료

소모자재 및 마스크 등은 사용자가 준비하여야 합니다.
원리 및 특징 포토마스크정렬기는 반도체 소자를 개발하기위한 장비임.
수은등에서 방사되는 자외선을 이용하여 감광유제를 감광시켜 반도체의 기판에 패턴작업을 할수 있게한다
응용분야 전자부품의 개발, 반도체 소자 개발, 센서의 제작 등에 이용
규격 MDA-400B
포토마스크,TSTI,Mask 제작 용 track/etch
Spin coater

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