물리화학분석장비
기자재명 | 포토마스크정렬기(Aligner&Spin Coater) (Photo Mask Aligner & Spin Coater) |
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모델명 | MDA-400B |
분류 | 물리화학분석장비 |
제조국 | 한국 |
제조사 | 마이다스시스템 |
캠퍼스 | 공주캠퍼스 |
설치장소 | 114 |
상태 | 사용불가 |
분석료 | 교내 : 3,000원/시료 교외 : 5,000원/시료 외부 : 10,000원/시료 소모자재 및 마스크 등은 사용자가 준비하여야 합니다. |
원리 및 특징 | 포토마스크정렬기는 반도체 소자를 개발하기위한 장비임. 수은등에서 방사되는 자외선을 이용하여 감광유제를 감광시켜 반도체의 기판에 패턴작업을 할수 있게한다 |
응용분야 | 전자부품의 개발, 반도체 소자 개발, 센서의 제작 등에 이용 |
규격 | MDA-400B 포토마스크,TSTI,Mask 제작 용 track/etch Spin coater |