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| 기자재명 | 원자력 현미경(AFM) (Atomic Force Microscope) |
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| 사진 |
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| 모델명 | SPM-9700 |
| 분류 | 물리화학분석장비 |
| 제조사 | Shimadzu |
| 캠퍼스 | 천안캠퍼스 |
| 설치장소 | 천안 6공학관 206호 |
| 상태 | 신청가능 |
| 분석료 | * 연구원과 일정 확인 후 기기 예약 요망. (1일 분석시간: 09:30~17:00) * 1일 전까지 취소 연락이 없이 불참하 시는 경우 예약시간 청구되니 주의 요망. - 교내: 교외 사용료의 50% - 교외: 20,000원/POINT (기본 1시간) + 10,000원/시간 Sample Size: 1CmX1Cm / 최장길이 2.4Cm이하(직사각형) 두께 최대 5mm *예상 거칠기가 5um 이상 분석 불가 *최적의 분석을 위해서는 시료를 아주 평평하게 준비해주시기 바랍니다.* Scan Size : 1umX1um ~ 30umX30um |
| 원리 및 특징 | 시료 표면에 탐침(cantilever)를 근접시켜 탐침과 시료간에 원자간의 상호 작용력(원자력간, 마찰력, 자기력 등)을 레이저 초점을 맞춰 검출기로 측정하여 미소영역의 3차원적인 표면형상, 폭, 높이, 각도 거칠기 등 3차원적 정보를 얻을 수 있는 기기. |
| 응용분야 | - 용도: 미세한 시료 표면의 형상, 단차, 거칠기 등 측정. - 응용분야: 반도체의 표면 계측, 화학 및 고분자, 재료공학, 기타 표면분석 등. - 활용예시: 미세한 시료의 표면을 3D로 관찰 및 높이를 측정 가능. |
| 규격 | 1. Model: SPM-9700/Shimadzu 2. Observation Modes : Contact Mode, Dynamic mode, Phase mode, Lateral force(LFM) mode, Force modulation mode. 3. Resolution: XY(0.2nm), Z(0.01nm) 4. Scanner(Max. scanning size, X x Y x Z): 30µm x 30µm x 5µm 5. Stage(Maximum sample size): Ø24(dia.) x 8mm 6. Z-axis drive unit(Maximum stroke): 10mm |