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| 기자재명 | 박막 두께측정기 (Thin film thicknessmeter) |
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| 사진 |
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| 모델명 | ST5030 |
| 분류 | 물리화학분석장비 |
| 제조국 | 대한민국 |
| 제조사 | 케이맥 |
| 캠퍼스 | 공주캠퍼스 |
| 설치장소 | 신관캠퍼스 공동실험실습관(산학연구관 115호) |
| 상태 | 신청가능 |
| 분석료 | ㅇ 교내: 10,000원/시료, 직접사용자에 한하여 5,000원/시료 ㅇ 교외: 13,000원/시료, 직접사용자에 한하여 7,000원/시료 |
| 원리 및 특징 | 박막에 경계면에서 반사와 투과가 일어나는데 이때 빛은 오실레이션이 일어나 간섭 패턴이 만들어진다. 이때 간섭패턴을 적절한 수학 모델로 추정하면 시료 막박의 두께 정보를 얻을 수 있다. |
| 응용분야 | 반도체 표면 위의 박막두께 측정 유리 표면 위의 코팅 두께 측정 폴리머 두께 측정 얇은 유리의 두께 측정 등 |
| 규격 | ◦검출 spot 크기: 20um ◦측정 시료 크기: 300 × 300 mm(12“ wafer) ◦두께 측정 범위: 100Å ~ 50 μm ◦다층 두께 측정: 최대 7층 ◦측정에 이용되는 가시광선: 400 ~ 800 nm ◦검출기: 선형배열 CCD 검출기 2048 pixels |