공주대학교공동실험실습관

통합검색
홈 > 보유기기

보유기기

(천안캠)광전자분광분석기(XPS) 기자재 정보
기자재명 (천안캠)광전자분광분석기(XPS) (X-ray Photoelectro spectroscopy)
사진 (천안캠)광전자분광분석기(XPS) 사진
모델명 K-Alpha
분류 물리화학분석장비
제조국 미국
제조사 Thermo fisher Scientific
캠퍼스 천안캠퍼스
설치장소 6공학관 105호
상태 신청가능
분석료
* 연구원과 전화상담 후 예약하시기 바랍니다.
* 1일전까지 취소연락이 없는경우 분석한 것으로 간주하고 청구하니 유의하시기 바랍니다.


* 교내
표면 : 45,000원/point+5,000원/30분
 (외부수가 약 36% 할인)
Depth : 80,000/point+10,000원/hr
 (외부수가 약 47% 할인)
* 교외
표면 : 70,000원/point+5,000원/30분
Depth : 150,000원/point+15,000원/hr
*요청 추가사항
Powder sample pumping : 30,000원/일
Ethching : 10,000원/회
원리 및 특징 시료의 표면에 X-선 빔을 입사하여, 방출하는 광전자의 에너지를 측정함으로써 시료표면의 조성 및 화학적인 결합상태를 알 수 있다. 에너지원으로 X-선이 사용되어 절연체에 적용이 가능함으로 도체 및 반도체 절연박막의 분석에 큰 장점을 가지고 있다. 또한, 이온빔으로 표면을 식각하여 깊이에 따른 원자의 조성/ 결합 및 분포도를 측정할 수 있다.
응용분야 금속 및 반도체 순수 표면의 상전이에 따른 전자 구조의 변화
•재배열 원자들의 전하분포 및 결합 에너지 변화
•기체 및 금속이 흡착된 반도체와 금속표면에서의 반응성 및 결합 상태에 따른 전자구조
•자성체 초박막 및 에피 박막의 전자에너지 분포
•Submicro 이하의 국소 영역의 성분 분석
•Depth profile을 통한 박막의 성장 메카니즘 규명
•표면의 원소에 대한 정량 분석 등

신청하기