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기자재명 | (천안캠)광전자분광분석기(XPS) (X-ray Photoelectro spectroscopy) |
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사진 | |
모델명 | K-Alpha |
분류 | 물리화학분석장비 |
제조국 | 미국 |
제조사 | Thermo fisher Scientific |
캠퍼스 | 천안캠퍼스 |
설치장소 | 6공학관 105호 |
상태 | 신청가능 |
분석료 | * 연구원과 전화상담 후 예약하시기 바랍니다. * 1일전까지 취소연락이 없는경우 분석한 것으로 간주하고 청구하니 유의하시기 바랍니다. * 교내 표면 : 45,000원/point+5,000원/30분 (외부수가 약 36% 할인) Depth : 80,000/point+10,000원/hr (외부수가 약 47% 할인) * 교외 표면 : 70,000원/point+5,000원/30분 Depth : 150,000원/point+15,000원/hr *요청 추가사항 Powder sample pumping : 30,000원/일 Ethching : 10,000원/회 |
원리 및 특징 | 시료의 표면에 X-선 빔을 입사하여, 방출하는 광전자의 에너지를 측정함으로써 시료표면의 조성 및 화학적인 결합상태를 알 수 있다. 에너지원으로 X-선이 사용되어 절연체에 적용이 가능함으로 도체 및 반도체 절연박막의 분석에 큰 장점을 가지고 있다. 또한, 이온빔으로 표면을 식각하여 깊이에 따른 원자의 조성/ 결합 및 분포도를 측정할 수 있다. |
응용분야 | 금속 및 반도체 순수 표면의 상전이에 따른 전자 구조의 변화 •재배열 원자들의 전하분포 및 결합 에너지 변화 •기체 및 금속이 흡착된 반도체와 금속표면에서의 반응성 및 결합 상태에 따른 전자구조 •자성체 초박막 및 에피 박막의 전자에너지 분포 •Submicro 이하의 국소 영역의 성분 분석 •Depth profile을 통한 박막의 성장 메카니즘 규명 •표면의 원소에 대한 정량 분석 등 |